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ASML 步进光刻机中的对准系统一直是关键竞争优势，它的LOGO就是掩膜和晶圆的对准标志。除了中心十字线，还有四个区用于接收光信号，通过调整四个区的光线强度实现对准，类似于激光导弹的对准原理。竞争对手的步进光刻机必须在每次曝光前测量晶圆位置，这种技术称为裸片对准技术。要耗费一定的时间，降低了吞吐量。而ASML使用单次测量，用机器确认晶圆位置，然后开始“飞盲”运动，直到整个晶圆被曝光，这种全局对准技术可以显著提高吞吐量。全局对准技术基于所谓的双对准技术，在晶圆的掩膜上使用两个参考标记。不仅可以使用双对准技术自动校正错误角度，还可以抵消从掩模到镜头距离变化时出现的放大倍率误差。双对准是 PAS 2500 开始的一个基本研发功能，范登布林克的贡献最大。到了PAS 5500，套刻精度已经可以达到85纳米。问题在于，有技术资源并不代表有市场。因为芯片厂商在做出采购决策时需要考虑多方面的因素。相对于资源本身，资源配置和资源的运用更加重要，这就需要管理者的贡献。
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北京读天下
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空空如也
小宇宙热门评论...
北京读天下
7个月前
北京
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35:26 斯密特的任期不算长，但影响深远。ASML三大成功配方都是在他的任期内确定下来的。
北京读天下
7个月前
北京
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35:26 斯密特的任期不算长，但影响深远。ASML三大成功配方都是在他的任期内确定下来的。
北京读天下
7个月前
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30:16 ASML被迫折价销售，靠母公司飞利浦的订单过活。
北京读天下
7个月前
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01:51 光刻机的技术要素有三项，曝光线宽，套刻对准和晶圆吞吐量。ASML对准系统是它的核心能力之一，早期的LOGO就是掩膜和晶圆的对准标志。
北京读天下
7个月前
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01:51 光刻机的技术要素有三项，曝光线宽，套刻对准和晶圆吞吐量。ASML对准系统是它的核心能力之一，早期的LOGO就是掩膜和晶圆的对准标志。
北京读天下
7个月前
北京
0
1:00:30 一年时间里失去CEO和董事长，高层震荡为什么没有影响ASML的活力？
北京读天下
8个月前
北京
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52:34 斯密特和普拉多的一项争议，要不要收购GCA。
北京读天下
8个月前
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26:22 寄希望于半导体市场复苏，斯密特调整商业计划，计划在1987年实现赢利。
北京读天下
8个月前
北京
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21:26 迟迟没有收到订单，斯密特犹豫，要不要压缩成本？